然而,在医学上,生物洁净室通常用于控制微生物污染。在生物洁净室中,这些微生物多由细菌和真菌组成,粒径在0.2um以上,常见的细菌都在0.5um以上,且大多附着在其他颗粒上。生物污染的渠道不仅仅是通过空气,还与人体和操作人员的服装有关。在医学研究领域,生物实验室、无菌实验室以及用于生化和医学实验的“特殊动物”饲养室也需要控制微生物污染。
净化工程洁净室温湿度控制净化工程洁净空间的温度和湿度主要是根据工艺要求来确定的,但在满足工艺要求的条件下,也要考虑到舒适度。随着空气洁净度要求的提高,对温度和湿度的要求也有越来越严格的趋势。具体工艺对温度的要求后面会列出,但作为一般原理,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如,在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,玻璃与作为掩模材料的硅片之间的热膨胀系数差要求越来越小。
硅片直径为100um,温升1度,上升0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,湿度也要求值一般较低,因为人在出汗,产品会有污染,特别怕大半导体车间,车间温度不应超过25度,湿度高的问题较多。当相对湿度超过55%时,冷却水管壁会结露,如果在精密设备或电路中发生,会引起各种事故。当相对湿度为50%时,容易生锈。
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