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结构组成:涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子(即动叶轮)、静叶轮和驱动系统等组成。
工作原理:
主要有立式和卧式两种。
动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度(一般为150~400米/秒)。单个叶轮的压缩比很小,涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同,但叶片倾斜角相反。图为20个动叶轮组成的整体式转子。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙,动叶轮可在静叶轮间自由旋转。
特点:抽速大、无油、启动快、无油污染、维护简单
工作范围:清洁的低真空~中、高真空,大气~超高真空极限真空:10-6/ 10-10torr
缺点:结构复杂、对轴承耐磨程度要求高、制造成本高
广州潽拓光电科技有限公司从事高真空设备研制、生产、销售、工程安装及售后维修服务于一体的综合性企业,由从事多年真空系统开发,真空设备技术研发,维修工程师,工程师组成的一支技术实力雄厚,充满活力的高素质团队.
Leybold 分子泵的电源为Leybold TD400
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广州潽拓光电维修LEYBOLD分子泵分子泵的特点:
-操作维护方便,免维护周期长
-复合型分子泵在较高压强工作段扔有较大抽速
-油润滑分子泵:润滑油量小,且在前级真空段,对真空室污染小
-脂润滑分子泵:油脂量ji小,前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。
-全磁悬浮分子泵:无须润滑,与干泵一起使用,可获得无油的清洁真空环境。
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图片中的Leybold NT10分子泵电源,有人称之为Leybold NT10分子泵控制器,专门用于:
Leybold TMP50 turbo pump : Leybold TMP50分子泵
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