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随着真空泵使用范围越来越广，了解其相关参数对于之后的生产工作的展开十分重要。1、抽气速率(体积流率)：当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上位置测得的平衡压力之比。简称泵的抽速。即在一定的压力、温度下，真空泵在单位时间内从被抽容器中抽走的气体体积。

极限压力(极限真空)：泵装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的比较低压力。即真空泵的入口端经过充分抽气后所能达到的比较低的稳定的压力。 3、起动压力： 泵无损坏起动并有抽气作用的压力 4、前级压力： 排气压力低于一个大气压力的真空泵的出口压力。 5、比较大前级压力： 超过了能使泵损坏的前级压力。

比较大工作压力：对应比较大抽气量的入口压力。在此压力下，泵能连续工作而不恶化或损坏。 抽气量： 流经泵入口的气体流量。 压缩比： 泵对给定气体的出口压力与入口压力之比。分子真空泵主要是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使气体分子获得定向运动的速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵牵引分子真空泵，气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。

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典型涡轮分子泵抽气系统涡轮分子泵抽气系统一般不需要用常见的液氮冷阱来阻止轴承润滑油或机械泵泵液的返流只要泵是以额定角速度旋转，那么泵对除很轻的气体氢以外的所有气体都具有比较高的压缩比，足以阻止这些气体从前级管道端返流到高真空端液氮冷却的表面不能捕集因压缩比低而返流到真空室的少量的氢液氮冷阱可用来提高系统对水蒸气的抽速，

其很好的安装位置是在高真空阀的后面，也就是直接设置在涡轮分子泵的喉部上方还可以考虑在高真空阀后面装一个三通管，把涡轮分子泵接在它的一个接口上，而把液氮冷却的表面接在另一个接口上而三通的任何两个接口之间的流导都要小于液氮冷阱的通导然而要使分子泵对水蒸气和空气都具有很大抽速，很佳的安排还是将液氮冷阱安装在涡轮分子泵和高真空阀门之间。

涡轮分子泵抽气系统既不需要用粗抽阱也不需要用前级管道冷阱粗抽与主抽系统之间较高的切换压力能防止机械泵油通过粗抽管道迁移到真空室中去，而泵对碳氢化物馏分的高压缩比也阻止它们从前级管道通过泵反扩散到真空室中去。

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涡轮分子泵应用于低温扫描隧道显微镜LT-STM涡轮分子泵应用于低温扫描隧道显微镜LTSTM

扫描隧道显微镜STM是根据力学中的隧道效应原理,通过探测固体表面原子中电子的隧道电流来分辨固体表面形貌的新型显微装置.低温扫描隧道显微镜LT-STM真空互联除了具有纳米分析能力外,它还可以在4到300K的温度范围内对原子和分子进行准确操作.

低温扫描隧道显微镜LT-STM具有很长的LHe保持时间,极低的漂移率和出色的稳定性dz

LT-STM系统需要在超高真空环境中进行研究,对真空度要求及其高,真空可到1E-10mbar,需要用前级泵,分子泵,离子泵,钛泵等组合使用来达到要求,同时分子泵需要低振动,低噪音,清洁无油确保超高真空的稳定性以保证晶体的生长和后期的探测分析.

某搭建LT-STM真空互联系统公司,采购5套涡轮分子泵用于给装置提供超高真空.主要技术参数如下:

抽速L/S

N2:260,H2:220,He:255,Ar:255

全转速时气体流量

mbarl/s

N2:14,H2:>14,He:20,Ar:7

压缩比

N2:>1X1011,H2:9X105

He:>1X108,Ar:>1X1011

声压水平

≤50dBA

很大功率消耗

300W

很大电流

12.5A

安装方向

任意方向

允许辐射的很大热功率

2.4W

很大允许磁场

5.5MT

转速±2%

60000min-1

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用技术加持的涡轮分子泵可以满足更为苛刻的工作环境要求，尤其是在需要更低振动和静音的应用中，该系列涡轮分子泵可以大大提升用户体验。采用这项技术的相关真空泵非常适合用于质谱分析、电子显微术、检漏仪和残余气体分析系统等对振动敏感的应用。以电子显微镜为例：由于高真空法兰的振动很强烈（~20nm），导致高倍率下的图像模糊不清；而集成了这款涡轮分子泵之后，振动变得更低（~5nm），使电子显微镜能够获得更高分辨率的图像。

电子显微镜的两幅图像对比：配备了涡轮分子泵（右）比未配备涡轮分子泵（左）时的图像要更清晰

高度可靠的新型涡轮分子泵

除了应用更先进的技术之外，也承袭了真空涡轮分子泵安全、耐用、抗老化、重量轻、体积小巧等一系列优点。

·在控温方面，涡轮分子泵配备集成传感器，集成的转子温度测量功能可确保始终发挥很佳性能，保障其很高运行安全性。

·在轴承方面，的混合轴承由两部分组成：前级真空侧运用耐温高、转速高且寿命长的油润滑式陶瓷球轴承，而高真空侧则使用灵活、抗压强的永磁径向轴承。坚固耐用的轴承材料让系列涡轮分子泵具备更高可靠性。

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