主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。我司PFA花篮,进入化学酸、碱蚀刻制程中,可搭配PFA把手使用。
二、参数
名称 |
规格 |
耐温性 |
应用 |
PFA花篮 PP Cassette
|
2寸 |
-200~260℃ |
酸碱传输制程 |
4寸 |
|||
6寸 |
三、特点
1.耐腐蚀:耐受强酸强碱
2.搭配可活动把手,用于晶圆芯片清洗运输
3.耐高低温:-200~260℃
4.耐绝缘:介电性能与温度、频率无关;
5.防污染:本底值低,金属元素铅铀含量小于0.01ppb;
6.低的溶出和析出,确保晶圆芯片无污染
7.化学性能稳定
公司拥有三十多年PFA制品生产加工经验,公司投入大量人力、物力致力于太阳能光伏相关产品的研发,截止目前,公司推出的光伏用--太阳能硅片花篮,太阳能硅片承载器,硅片花蓝,,半导体清洗花篮。
产品名称:6″特富龙卡匣/ PFA晶舟盒
尺寸:179 (L) * 147 (W) * 175 (H)毫米
重量:1045.4克
能力:25PCS
晶圆尺寸:6英寸(Ø150mm)
材料:聚四氟乙烯/ PFA
槽距:4.76毫米
南京滨正红仪器有限公司
原文链接:http://www.0515.org/chanpin/show-31843.html,转载和复制请保留此链接。
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