在电子元件制品的制造过程中,微粒子污染对成品率有重大影响,故应在过程中严格控制微粒子的数量,遵守“不携入、不发生、不储备、除去”四项基本原则以防止微粒子污染。
无尘室内的浮游微粒子浓度,使用的过滤器即可容易达到零水平,实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等,在制造品周边扬起了少许的微粒子,因而造成了元件清洁面的粒子污染。
无尘室内防止微粒子污染的基本原则:
不携入
在无尘室内不携入微粒子的方法有:
作业员进入无尘室前,机台、零件携入前应进行清洁处理;
进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。
通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后,才能进入无尘室。
机器及材料带进无尘室前,应尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭,经风淋室吹淋后才进入无尘室。
无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。
洁净室(无尘室)吸尘器的主要组成:
大扒头:当清扫地面面积较大时,使用大扒头可有效快速的提高工作效率。
小扒头:清扫面积相对较小时,小扒头可方便快捷的扫除工作台底部的灰尘和颗粒。
圆毛刷:工作范围主要集中在工作台台面,清楚工作台面细微的小颗粒
伸缩杆:增大清扫范围领域。
软管:机器正常工作时,吸收的小颗粒,灰尘,杂物,经过吸口有软管传递到过滤系统。
集尘袋:洁净室吸尘器的过滤系统,也是为重要的环节,收集人眼能分辨的小颗粒,对保护马达和过滤器有重要作用。
电源开关:控制吸尘器的启动和关闭。
过滤器:过滤器是吸尘器的第四大过滤系统,也是后一个环节,过滤器能过滤0.012um的小颗粒,过滤之后的空气达到100级以上。
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