右侧部分为气路原理
用户可以明确地知道气路原理与气路基本构成,并可通过手动方式,控制内部截止阀(V1-V6的开关)
INLET1 - 设备所用背景气,一般为空气或氮气。
INLET2 – 原料气,用户可通过列表选择多种气体种类。
初级储气罐 - 用于二次配气时储存初级配比出的一定浓度气体,系统自动维持压力在0.5MPa以下,在使用二级配气条件下,初级储气罐自动维持压力在0.45-0.5MPa上下,用以满足二级配气下MFC4的正常工作使用压差。
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配气仪原理
配气原理为质量流量混合法。采用的质量流量控制器,控制器稀释气体及组分气体的流量。稀释气体可采用高纯氮气、纯净空气等。组分气可以使用纯气或一定浓度的混合标气。通过准确的设置,便可配置出 10-8 -10-2含量的各种标准气体。
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动态稀释配气仪主要特点
◆ 采用进口质量流量控制器,配气输出精度高
◆ 稀释比例灵活配置,适用范围广
◆ 自动校准,连续使用,具备自动校准零点
◆ 功能强大,可为多种仪器设备及传感器作校准及性能评价
◆ 配制的标准气体可直接使用,也可充入钢瓶或气袋备用
◆ 内置压缩空气发生器组件,无需用户提供压缩空气钢瓶
◆ 真彩色高分辨率触摸液晶屏,操作简易
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