3D玻璃显影曝光技术在HW mateRs用到了此技术,该后盖3D玻璃8曲面,弧面曲率大,
设计八曲面玻璃主要是为了满足如下两点需求:
1:为压缩整机厚度,后盖弧度大可增加架构空间,另未来5G的发展,器件增加,空间需加大;
显影液去除并且清洗(rinse):达到显影时间后,使用DIW立即冲洗晶圆表面。去离子水不仅可以使显影过程终止,而且会把显影后缺陷颗粒冲洗掉。在冲洗过程中,晶圆旋转产生的离心力也对去除表面颗粒有很大的帮助。
将显影液涂覆在曝光后的晶圆表面上,正胶的曝光区域和负胶的非曝光区域溶于显影液中,进一步将反应聚合物和显影液残留冲洗后,就可以显现出光刻胶中的图形,曝光一般在曝光机内进行,曝光不足,导致单体聚合不,那么在显影过程中,会使的胶膜变软,线条不清晰,色泽暗淡,脱胶。曝光过度,会造成难显影,留有残胶。同时曝光影响图案的线宽,过量曝光会使图形线条变细,蚀刻产品线条变粗。为了让显影液与光刻胶进行充分反应