氦质谱检漏仪
充氦法
充氦法也称负压法 ，一个密闭的气室连接真空泵和氦气罐，将被检零件装入一个气室，开始关闭氦气罐阀门，机械泵把气室先抽成真空，然后关闭真空泵阀门，打开氦气罐阀门给气室充氦，并静置一段时间。被氦气包围的小器件上如果有漏隙，氦气就慢慢充入小器件内部。然后将气室打开，取出被检器件，用压缩空气吹掉其外表面可能吸附的氦。再把这些器件逐个(或成组) 地装入接在检漏仪进气法兰处的容器中，把此容器抽空后打开节流阀，这时原先进入被检器件的氦又会经过漏孔放出来，检漏仪就会给出漏率响应。结构主要采用电脑触摸屏的集散式半导体模块控制系统，分散与集中控制相结合，层次分明、成本低廉、维护方便。
氦质谱检漏仪
充氦法
的整体检漏就是可以用这种方法，将放入大型环模室中，利用环模设备的真空系统将环模抽成真空，先用辅助泵进行粗抽和预抽，在检漏时先通过机械泵将及充气管道抽成真空后，将氦气充入中，压力保持和工作的压力一致，开启氦质谱检漏仪用标准漏孔校准仪器，就可以直接测量的漏率了。氦质谱检漏仪的示踪气体选用氦气,是因为氦气具有以下优良特性：①氦气在空气中的含量少，体积含量为5。
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氦检漏设备
密封器件的氦质谱细检漏技术细分为压氦法(即背压法) 和预充氦法两种。D A Howl 等首先给出了压氦法测量漏率Re 与等效标准漏率L 的关系，并指出该关系对应的气流状态为分子流，文献指出将压氦法测量漏率与等效标准漏率关系式中个括号删掉，就得到预充氦法的相应关系式。无论是压氦法还是预充氦法，在公式推导中都假定候检期间环境大气中不存在氦分压。然而，实际上地球干洁大气中含有少量氦气；3、被检件检测前需要进行充分的清洁，同时要在充好气后再放入液体中，防止堵塞漏孔。压氦时通常会产生检漏用氦气对环境大气的污染，使环境氦分压超过地球干洁大气中的氦分压。因此，推导和分析环境大气中氦分压对压氦法和预充氦法的影响是十分必要的。