真空泵维修的结构特征以及零部件磨损规律，通常采用以下两类典型的维修方式。
1、事后维修
它是指机械设备发生故障后才进行的维修。它包括查找故障部位、进行修复或更换零部件、调整、验收等一系列技术活动，是一种古老的维修方式，仅适用于安全性、可靠性要求不高的情况。
2、预防维修
预防维修是指机械未发生停机故障或损失之前所进行的维修。随着设备或系统结构的日趋复杂，以及因发生故障所造成的经济损失日益增大，那种只通过事后维修的方法越来越满足不了需要，采用预防维修是不可缺少的。
的舱室抽空时间可减少 总体平均循环时间 (TACT)
仅仅 0.55kW 的功耗 有助于减少客户拥有成本
环保模式可以在空闲 期间多减少 92% 的功耗
35oC 的水 供给有助于降低设备冷却水要求
且极轻， 有助于节省宝贵的工厂空间
适用于严苛应用的大型 iXL 干泵
iXL1000：紧凑型低能量的干 泵，适用于轻负载应用。它提供快速舱室抽空和 极低的功耗。可用于轻负载应用（如晶圆加工、PVD 和 计量）的且安静的泵之一。此产品 在高度成功的 iXL120 泵的基础上构建，具有高抽取速度和 低能耗特性。通过环保模式可在空闲期间降低设备 使用率，从而降低成本并帮助保护环境。
Edwards E2M175/275 系列双级油封旋转叶片真空泵因其限真空、高抽取速度、运行噪音小以及能够处理水蒸汽而享有盛誉。这些直接传动旋转式叶片泵设计紧凑且无振动，配备防伤手风扇和联轴器壳体，可为操作人员提供的保护。这种泵能胜任大多数工作，并且可在其正常运行参数范围内，安全地处理非气体和蒸汽。
应用
真空冶金加工
薄膜覆层技术
制药冷冻干燥
冷冻和空调系统
抽空、干燥和回填
特性和优点
可靠性：
可靠且稳定的制程 - 即使是在高气体负荷下也可提供有效的润滑
稳定：
无制程污染 - 油和空气反吸保护
性能：
长期无故障 - 传动轴杆上安装有工业级滚柱轴承
再保证：
安心 - 经过多年尝试、测试，已经成为工业标准
可靠且稳定 - 高真空性能
泵系列
E2M175
E2M175FX
E2M175T3
E2M275
E2M275T3
真空泵在工作1个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常（以成滴漏出为宜）。定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。真空泵在寒冬季节使用时，停车后，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。
螺杆真空泵是利用一对相互啮合的螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及粉尘的气体场合。
真空泵维修是的真空设备供应商，在工业、制药、化工、科研、加工、玻璃镀膜、食品包装行业以及广泛的研发应用的真空技术占有领导地位。日本Seiko Seiki曾是清洁和干燥真空技术的，STP系列磁悬浮分子泵1983年在全世界范围内开始广泛销售，如今被Edwards收购。