1、扫描电镜即扫描电子显微镜，主要用于观察样品的表面形貌、割裂面结构、管腔内表面的结构等。工作原理：扫描电镜是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态。
2、目前光学显微镜的种类很多，主要有明视野显微镜(普通光学显微镜)、暗视野显微镜、荧光显微镜、相差显微镜、激光共聚扫描显微镜、偏光显微镜、微分干涉差显微镜、倒置显微镜。
3、但由于分辨率很差、照相时间过长，因此没有立即进入实用阶段，至1965年英国剑桥科学仪器有限公司开始生产商品扫描电镜。
4、年，英国工程师CharlesOatley制造出了第一台扫描电子显微镜（SEM）。电子显微镜是20世纪最重要的发明之一。由于电子的速度可以加到很高，电子显微镜的分辨率可以达到纳米级（10-9m）。
扫描电子显微镜和能谱仪分别检测什么信号
能谱仪(EDS，EnergyDispersiveSpectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。原理：利用不同元素的X射线光子特征能量不同进行成分分析。
扫描电子显微镜(ScanningElectronMicroscope，SEM)于1965年左右发明，其利用二次电子、背散射电子及特征X射线等信号来观察、分析样品表面的形态、特征，是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察方法。
能谱仪(EDS，EnergyDispersiveSpectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。XRD是X射线衍射仪，是用于物相分析的检测设备。
什么是电子显微镜
1、电子显微镜（electronmicroscope），简称电镜，是使用电子来展示物件的内部或表面的显微镜。
2、电子显微镜(electronmicroscope)，简称电镜，是使用电子来展示物件的内部或表面的显微镜。
3、光学显微镜以可见光为介质，电子显微镜为电子束为介质，由於电子束波长远较可见光小，故电子显微镜解析度远比光学显微镜高。
4、电子显微镜是电镜，光学显微镜是光镜。二者主要是原理和结构不同：电镜主要靠电子束光源，组成包括镜筒，真空室和光源。
5、电子显微镜是以电子束为照明光源的显微镜。由于电子束在外部磁场或电场的作用下可以发生弯曲，形成类似于可见光通过玻璃时的折射现象，所以我们就可以利用这一物理效应制造出电子束的“透镜”，从而开发出电子显微镜。
6、电子显微镜电子显微镜是根据电子光学原理，用电子束和电子透镜代替光束和光学透镜，使物质的细微结构在非常高的放大倍数下成像的仪器。电子显微镜的分辨能力以它所能分辨的相邻两点的最小间距来表示。
扫描电子显微镜有何特点?
1、(1)扫描电镜主要用以观察样品的表面结构，对样品厚度没有限制，可直接观察样品表面的三维立体结构。投射电镜虽然分辨本领很高，但一般只能获得样品的二维图像。
2、扫描电子显微镜(SEM)是1965年以后才迅速发展起来的新型电子仪器。
3、(四)景深大，图象富有立体感。扫描电镜的景深较光学显微镜大几百倍，比透射电镜大几十倍。(五)图象的放大范围广，分辨率也比较高。
4、◎最大放大倍率1，000，000倍.◎机器稳定性提高，在地面振动条件10mm(P-P)，5HZ条件下可以观察高达600，000倍的图像。◎真空干燥系统，由分子涡轮泵和涡管泵组成，样品污染最小。◎高速电子束系统减少样品镜筒污染。
5、扫描电子显微镜）是现代材料科学中常用的显微镜技术。tem通过透射电子，揭示样品内部的结构和组织，分辨率高，但需要薄片样品。sem则通过扫描电子，获取样品表面形貌，分辨率相对较低，但适用于不透明样品且能够呈现立体感。
6、扫描电子显微镜的电子束不穿过样品，仅以电子束尽量聚焦在样本的一小块地方，然后一行一行地扫描样本。入射的电子导致样本表面被激发出次级电子。
电子显微镜成像原理
1、工作原理：在真空条件下，电子束经高压加速后，穿透样品时形成散射电子和透射电子，它们在电磁透镜的作用下在荧光屏上成像。
2、吸收像：当电子射到质量、密度大的样品时，主要的成相作用是散射作用。样品上质量厚度大的地方对电子的散射角大，通过的电子较少，像的亮度较暗。早期的透射电子显微镜都是基于这种原理。
3、电子显微镜是根据电子光学原理，用电子束和电子透镜代替光束和光学透镜，使物质的细微结构在非常高的放大倍数下成像的仪器。电子显微镜的分辨能力以它所能分辨的相邻两点的最小间距来表示。
4、电子显微镜是根据电子光学原理，用电子束和电子透镜代替光束和光学透镜，使物质的细微结构在非常高的放大倍数下成像的仪器。显微镜分光学显微镜和电子显微镜：光学显微镜是在1590年由荷兰的詹森父子所首创。
扫描电子显微镜的原理
1、扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。
2、扫描电子显微镜原理是利用材料表面微区的特征(如形貌、原子序数、化学成分、或晶体结构等)的差异，在电子束作用下通过试样不同区域产生不同的亮度差异，从而获得具有一定衬度的图像。
3、扫描电子显微镜(SEM)的基本结构及原理扫描电镜基本上是由电子光学系统、信号接收处理显示系统、供电系统、真空系统等四部分组成。图13-2-1是它的前两部分结构原理方框图。
4、换言之，扫描电镜是采用逐点成像的图像分解法进行的。光点成像的顺序是从左上方开始到右下方，直到最後一行右下方的像元扫描完毕就算完成一帧图像。这种扫描方式叫做光栅扫描。
5、扫描电子显微镜通过用聚焦电子束扫描样品的表面来产生样品表面的图像。电子与样品中的原子相互作用，产生包含关于样品的表面测绘学形貌和组成的信息的各种信号。
6、扫描电镜即扫描电子显微镜，主要用于观察样品的表面形貌、割裂面结构、管腔内表面的结构等。工作原理：扫描电镜是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态。