真空设备检漏
设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便，检测迅速等特点，是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器，
其测量工作原理如下。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计，用氦气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、质量分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子。质量分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同，在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，在设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙，打在收集器上。但是，以氦气作为示漏气体，也有一些不足之处，例如橡胶、塑料等有机材料常常会吸收氦气，在吸收后慢慢地释放出来。收集放大器收集氦离子流并送入到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作保护装置。
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真空设备检漏
北京科仪真空技术有限公司（简称：科仪）出资成立，创建于2015年，注册资金500万。科仪产品主要有：薄膜制备设备，真空冶金设备，检漏设备，真空系统等非标真空产品；它是将泄漏声音中可听频率部分截掉，仅仅使超声波部分放大，以检测出泄漏。系列分子泵，离子泵，钛升华泵，深冷捕集泵等高真空获得设备；系列干式涡旋泵，干式爪泵，干式螺杆泵等无油真空获得设备；超高真空环境模拟设备等高新技术产品。
如何选择检漏方式，与检测对象的工作环境有很大关系，尽量做到与检测对象的工作状态一致。如检测对象工作时内部处于正压，则用正压模式，如检测对象工作时内部处于负压，则用真空模式。对工件充注干燥空气/氮气0-5Mpa，进行大漏及耐压检测，通过该装置判断出被检工件的大漏及耐压试验。HLT260型氦质谱检漏仪具有嗅探和抽真空2种检漏模式，即正压模式和负压模式。详细检漏方法与测量工作过程如下：
在抽真空方式下，待检漏的器件通过测试端口与检漏仪相连，
待测器件被检漏仪内部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待测器件容积较大，则需额外的泵组一起协同作业以提高xiao率）。只需测量待测器件外部大气通过器壁的漏孔进入器件内部的氦的多少便可以判断漏率的大小。现今的氢氮混合气检漏技术可以检出低至5*10-7mbar/s的泄漏，相当于0。如果需要得到精que的漏率数值，则必须等待整个测量系统的真空达到稳态，
气密检漏设备
1. 气密检漏设备检测产品有两种比较直观的产品，一种是使用测试气管直接连接产品的充气孔(产品自带充气孔)，再进密性测试，即采用直接检测方法，另一种是将产品放置在仿形模具内(根据产品外形定制)，对仿形模具内腔进行充气，然后进密检漏设备。
2. 选择上述不同两种方法检测产品的气密检漏设备。仅在气密检漏设备上选择相应产品的泄漏检测程序，程序根据产品的检测标准，提前设定充气时间、保压时间、检测时间、泄压时间及工装治具的基本检测动作。
3. 手动打开气密检漏设备或工装夹具的启动按钮，气密检漏设备自动进入检测环节，可在10-30秒内就能完成检测。
4. 检测时如果产品有大泄漏，即时被判定为不合格。如泄漏值在标准范围内，则合格。泄露值超出标准范围，即是不合格。