广州潽拓光电科技有限公司——瓦里安真空泵保养配件
Varian的分子泵几乎涵盖了所有可能的应用领域，瓦里安TV551，特有的机电一体化的设计，TV551维护，具有前级耐压高的特性
Agilent安捷伦TV551分子泵驱动器维修,VarianTurbo-V550瓦里安涡轮分子泵控制器输入电压100-240VAC，输出频率700HZ，功率600VA。可以控制的分子泵有VarianTurbo-V550，Turbo-V551等
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涡轮分子泵的抽气原理是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子泵输送气体应满足二个必要条件：1). 涡轮分子泵必须在分子流状态下工作。2). 分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度
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真空泵油积碳，发黑，像油泥一样，所以在排气口处出现冒油烟。出现这种情况时，要把真空泵油更换掉，将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下。旋油塞和放油塞，放出污油。断续启动电机，使各真空小室内的油全部排出。然后从各抽气管加入干净的真空泵油200~300CC 。断续启动电动机，再次清洗各真空室。这样经 2~3次重复清洗，放光清洗用油，旋上放油塞。从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗口的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。
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安捷伦真空泵维修注意事项：
1）保证气路、水路正确连接，不得漏水、漏气；
2）本泵能抽除含有少量尘埃气体，但化工反应过程中，若有大量的尘埃，
应先通过化工过滤器之后，在连接真空泵，切忌不经过滤器，直接用本泵抽含有大量粉尘容器；泵可以在低于2*1了Pa的压力下连续工作，不可以用此泵长时间工作在高于2*1护Pa的压力范围
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Agilent TV903 安捷伦分子泵维修及保养，Agilent TV903 安捷伦分子泵产品图
广州潽拓光电科技有限公司-瓦里安真空泵保养配件 VARIAN TV81AG-NAV维修厂家
电压的不稳定，特别对磁浮类的分子泵损伤较大。前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出，真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差，分子泵就会比较吃力，启动速度慢，抽气时间长，电流高，分子泵温度升高等。
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振动频率为60%-工作转速，或者是密封间隙过大，护圈松动，密封磨损
处理方法：检查、调整或更换密封；
振动频率为2倍工作转速,不对中，联轴器松动，密封装置摩擦，壳体变形，轴承损坏，支承共振，推力轴承损坏，轴弯曲，不良的配合
处理方法：检查，采取相应措施，修理、调整或更换；