由单质氟与硫直接化合而得。反应也会生成硫的其他氟化物如十氟化二硫，可通过加热使其歧化后，再用氢i氧化钠处理除去剩余的四氟i化硫而纯化。
六氟化硫具有良好的电气绝缘性能及优异的灭弧性能。其耐电强度为同一压力下氮气的2.5倍，击穿电压是空气的2.5倍，灭弧能力是空气的100倍，是一种优于空气和油之间的新一代超高压绝缘介质材料。六氟化硫以其良好的绝缘性能和灭弧性能，如:断路器、高压变压器、气封闭组合电容器、高压传输线、互感器等。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，被大量应用于微电子技术领域。冷冻工业作为制冷剂，制冷范围可在-45℃~0℃之间。电气工业利用其很高介电强度和良好的灭电弧性能，用作高压开关、大容量变压器、高压电缆和气体的绝缘材料。
毒性气体
1、氟化亚硫酰( SOF2 )
无色剧i毒气体，能侵袭肺部，引起肺组织急性水肿，影响气体交换，使肺部缺氧充血而导致窒息性死i亡，它有强烈的恶心臭味，可作为警告信号之用。白鼠和兔子的致死浓度为 10 × 10 -6 和 50 × 10 -6 ( V/V )。
2、氟化硫酰( SO2F2 )
挛性化合物，无色无臭，在较高浓度下对肺组织有刺激作用，引起肺泡出血。白鼠和兔子的致死浓度为 200 × 10 -6 和 400 × 10 -6( V/V )。
3、四氟i化硫( SF4 )
无色气体，有类似 SO2的刺激性臭味，毒性与光i气相当，对肺有侵害作用。
4、二氟化硫( SF2 )
沸点 35 ℃，极不稳定，受热后更加活泼，易水解生成 S 、 O2 、 HF 等，其毒性于 HF 相当
5、氟化硫( S2F2 )
常温下为无色气体，具有很强的毒性，遇水后生成 HF ，对呼吸系统有类似光i气的破坏性作用。
6、氟化i氢( HF )
无色气体或液体，具有强烈的刺激性臭味，极易溶解于水，形成氢i氟酸，对一般材料具有较强的腐蚀性。 HF 对皮肤、粘膜有强烈的刺激作用，并能引起肺i水肿、肺i炎等。
7、十氟化二硫( S2F10 )
常温常压下为无色易挥发液体，系剧i毒物质，毒性约为 SOF2 的 300 倍。S2F10主要侵袭肺住址，引起肺出血和肺水i肿。白鼠的致死浓度为 1 × 10 ( V/V )。
8、三氟化铝( AIF3 )
白色粉末状，通常吸附了大量的有毒气态分解产物，故应被视为具有强烈腐蚀性和毒性的物质。 ALF3 粉尘可刺激皮肤引起皮疹，对呼吸系统及肺部均有侵袭作用。
9、十氟化二硫一氧( S2F10O )
剧i毒物质，对肺组织强烈侵袭作用。白鼠的致死浓度为 20 × 10 ( V/V )。