连接方式:
1)焊接。高纯、高洁净气体管道，原则上采用焊接，但不能直接对焊，应采用套管接头。
a不锈钢管的焊接:采用argon arc welding，同时管内通入同等纯度的Ar，防止焊接部位氧化。
b钢管的焊接:采用40%银焊条，氮气保护焊，管内通入工艺气体同等纯度的氮气。但要注意，一旦氮气中断或氮气纯度下降，会在焊口附近生成铜的氧化物，产生浸润表面的可能性。所以，当铜管焊接完毕后，要用浸渍丙i酮的纱布来回擦拭管内，消除焊接处可能产生的氧化物。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按国家现行有关规定执行。
2)螺纹连接。螺纹连接的气密性不如焊接的好，不适用于高纯、高洁净气体管路连接。螺纹连接使用的密封填料残渣有带入气体的危险，而且内外螺纹旋紧时，金属间的摩擦会产生金属粉尘粒子，污染气体。如确实必要，应在铜与铜、铜与铜合金附件螺纹连接时，在外螺纹上均匀地挂上一定量的焊条，提高密封效果，尽可能减少金属粉尘。（5）空瓶与实瓶分区放置，气瓶室易i燃易i爆气瓶应该与助燃气瓶隔离。
3)法兰连接。螺纹或法兰连接处的密封材料应采用聚四氯i乙烯，为确保密封效果，在垫片上涂敷少量氟橡胶(白色、室温固化)。
(3)管路附件的使用:
1)管路附件的材质的选用原则应与管材的选用原则一致。
2)在采用铜材的管路系统中，可以使用不锈钢材质的管道附件;但在不锈钢材质的管路系统中，不容使用铜制材料的管道附件。
气体管道工程流量太大调不小的原因与解决办法？
气体管道工程在实施时难免发生大大小小的事情，如果不加以解决会影响整个工程的进展，甚至造成更大的损失，那么呢了解气体管道工程流量太大调不小的原因吗，当遇到这种问题又有哪些解决方法呢?
产生此类故障的原因有三种：
第i一，是流量计后气路有泄漏;
第二，是气路气阻太小;
第三，是流量控制阀件损坏。
实验室气体管道工程
其检查方法如下：
首先堵住检测器的气路出口，观察流量计中的转子是否可下降到零位。如不能降为零，需要考虑对漏气处进行检查，具体方法见气路泄漏的检查与排除;如转子可降到零位说明系统不漏气。
气体管道工程
此时应观察一下流量调节阀转动时，流量是否 有较大的变动，若有变动可适当增加气路气阻;若无变动则应怀疑阀件本身有问题，按照阀件的清洗部分处理。处理后的阀件应再装回原气路中进行控制试验。
各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(PN2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(N2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(PH2)氢气(H2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氦气(He)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化(AP)处理，内管电解抛光(EP)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性大大提高。实验室集中供气系统已成为实验室的主流，其优势主要体现在集中供气更安全、更经济、纯度更高，工作流程更优化。