光学平板简介
这种双面加工,一般速度不高。下模比较大,上模比较小,挡圈直径比上模大,比下模小。适当地调节上模的摆动量,可以实现平板的上下表面同时精磨或抛光。研磨或抛光时,人工将磨料或抛光粉间断地添加到下模和平板的表面。这种低速的双面加工,比单面加工提高了效率,但被加工的平面度和双面的平行度则达不到很高的要求,所以只适用于般精度平板的加工。
光学平板
随着大规模、超大规模集成电路制造技术的发展,由于大批量半导体硅片加工的需要,光学平板价格,国外出现了双面高速加工机床,适用于半导体硅片的双面研磨和抛光,进而被推广到高速研磨抛光光电仪器中的光学平板。光学平板通常作为分光镜或窗口等透过型元件或被用作全反射镜或光学测量中的基准平面。表面经过氧化发黑处理,既美观,也适合光路搭建的环境。
光学平板结构是什么
夹心光学平板主要是由带磁不锈钢(不锈铁)及填充材料组成(目前使用多的填充材料是蜂窝巢结构材料及型钢框架结构)。特点是:固有频率低,吸振性能强。
光学平台支架按其隔振形式主要分为:机械式隔振支架与气垫式隔振支架。
机械式隔振支架主要是利用各种隔振材料(如:减震弹簧、隔振橡胶等)将主动或被动震源尽量阻隔,使其尽可能少地传递到光学平台上。特点是造价相对便宜,使用和维护方便。缺点是只能用于环境震动相对较好的场合。