氦质谱检漏设备检漏过程中，如发现大量氦气进质谱检漏仪，应立即移去吸，防止因仪器长时间清除不掉氦影响而延误测试。于氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的，所以焊缝表面若存有油污、 焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果，因此，测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。氦质谱检漏主要领域：电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统；电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路；
检漏步骤为:若步骤1和2均未检出漏点，就要考虑各个真空泵性能的问题，首要检查机械泵油、罗茨泵油是否缺少，如果泵油缺少会大大降低泵的抽气性能，其次检查机械泵的阀片,通过向机械泵排气口喷吹氦气来检测其阀片的密封性。扩散泵油或扩散泵加热器异常也会造成极限压不合格。还应检查真空计是否准确以及真空系统设计是否满足技术要求。
为了避免串液故障发生，需要对导流区域和二道密封区域进行氦质谱检漏。采用真空法进行检漏时，采用水环泵、旋片泵、不锈钢波纹管、球阀、节流阀组建真空系统。首先使用水环泵抽真空，然后充入氮气，再次使用水环泵抽真空，反复几次对换热器内部抽出水蒸气和粉尘。使用工业吸尘器对换热器外表面除尘和干燥。使用旋片泵抽真空和氮气置换的方式对换热器内部进一步干燥。干燥后在管热管抽真空后，在的漏点喷氦气，观察氦检仪显示情况。对漏点进行堵漏。
检漏设备：质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。检漏的方式是：链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪，用真空泵组把管道抽真空，达到一定真空度。氦质谱检漏主要领域：航空航天——燃料箱、油箱、及各种电机等；仪表制造——压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等。