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纯水指的是不含杂质的H2O。从学术角度讲，纯水又名高纯水，是指化学纯度极高的水，其主要应用在生物、 化学化工、冶金、宇航、电力等领域，但其对水质纯度要求相当高，所以一般应用普遍的还是电子工业。例如电力系统所用的纯水，要求各杂质含量低达到“微克/升”级。
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在纯水的制作中，水质标准所规定的各项指标应该根据电子(微电子)元器件(或材料)的生产工艺而定(如普遍认为造成电路性能破坏的颗粒物质的尺寸为其线宽的1/5-1/10)，但由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素繁多，至今尚无一份由工艺试验得到的适用于某种电路生产的完整的水质标准。随着电子级水标准的不断修订，而且高纯水分析领域的许多突破和发展，新的仪器和新分析方法的不断应用都为制纯水工艺的发展创造了条件。
一种是从地壳深处1000～3000米远古生态水流出的泉水，另一种是从地表熔岩流出的矿质溶解水。两者都是来自埋在地下深处深部循环的，未受污染、天然形成的地下矿泉水。在通常情况下，矿泉水的化学成分、水位、水量、水温动态相对稳定。我国饮用天然矿泉水的卫生标准中要求矿泉水要含有一定量的对人体健康有益的矿物质、微量元素或游离二氧化碳气体以区别于普通的地下水，长期饮用矿泉水，对人体确有明显的营养保健作用。