工艺流程为含尘气体首先进入实心喷雾洗涤室，烟气经碱性溶液冷却降温达到饱和状态，大颗粒粉尘及首先被吸收，继而烟气、水雾、粉尘三相气流由于质量的差异、以不同的惯性互相传质并同时进入凝聚雾化洗涤室进行收缩、急聚、扩散等运动作用后第二次被脱硫与除尘，随后烟气、水雾。粉尘三相气流以一定速度冲击装有碱性溶液的循环流化过滤室通过充分冲出、湍流、搅拌、过滤、传质等运动机理后第三次被脱硫与除尘，此时比较洁净的烟气一切向或蜗壳走向进入上稳旋流逆传质洗涤室通过由上往下的碱性液膜与液雾产生逆向传质运动后一次脱硫除尘，净化后的洁净通过切向或蜗壳走向进入下稳旋流脱水除雾室进水分离处理后，由引风机送到烟囱排向高空。而灰水则分别从实心喷雾洗涤室、循环流化过滤室、上稳旋流逆传质洗涤室底部的自动溢流水封出灰口排向循环池经碱性水中和沉淀处理、碱性废水回收供脱硫除尘器使用，洁净谁从下稳旋流脱水除雾室底部的排水口流出，同时完成了消烟、脱硫、脱氮、除尘、脱水、除雾的全过程。
常见吸收塔的性能
目前国内外燃煤电厂常用的脱硫塔，主要有喷淋空塔、填料塔、双回路塔及喷射鼓炮塔等四种。脱硫除尘器
近年来，我国许多部门对燃煤工业锅炉及窑炉烟气脱硫技术进行了研究及开发。为了经济简便起见，常常将烟气除尘及脱硫一体化处理，即在同一个设备内处理。为此，将脱硫除尘一体化设备成为脱硫除尘器。
我国中小型燃煤锅炉常用的脱硫除尘器，主要有旋流塔板脱硫除尘器、空心塔脱硫除尘器、填料塔脱硫除尘器以及流化床脱硫除尘器等。
所谓富液合理处理，是指不能把碱液从烟气中吸收S02形成的硫酸盐及亚硫酸盐废液未经处理排放掉，否则会造成二次污染。回收和利用富液中的硫酸盐类，废物资源化，才是合理的处理技术。例如，日本湿法石灰石/石灰--石音法烟气脱硫，成功地将富液中的硫酸盐类转化成优良的建筑材料--石膏。威尔曼洛德钠法烟气脱硫，把富液中的硫酸盐类转化成高浓度高纯度的液体S02，可作为生产硫酸的原料。亚硫酸钠法烟气脱硫，将富液中的硫酸盐转化成为亚硫酸钠盐。上述这些湿法烟气脱硫技术,对吸收S02后的富液都进行了要善处理，既节省了资源，又不造成二次污染，不会污染水体。