当化学物质通过吸收能量(如热能、光子能量等)，可以使自身的化学性质变得更加活跃甚至被裂解。当吸收的能量大于化学键键能，即可使得化学键断裂，形成游离的带有能量的原子或基团。当波段内的真空紫外线(波长范围内184。9nm-253。7nm)，促使有机废气物质通过吸收该波段的光子，而该波段的光子能量大于绝大多数的化学键键能，使得有机物质得以裂解;再通过裂解产生的臭氧将其氧化成简单、无害、稳定的物质，如H2O和CO2等。
低温等离子体技术在废气处理中的应用随着工业经济的发展，石油、制药、油漆、印刷和涂料等行业产生的挥发性有机废气也日渐增多，这些废气不仅会在大气中停留较长的时间，还会扩散和漂移到较远的地方，给环境带来严重的污染，这些废气吸入人体，直接对人体的健康产生极大的危害；另外工业烟气的无控制排放使性的大气环境日益恶化，酸雨(主要来源于工业排放的硫氧化物和氮氧化物)的危害引起了各国的重视。由于大气受污染而酸化，导致了生态环境的破坏，重大灾难频繁发生，给人类造成了巨大损失。因此选择一种经济、可行性强的处理方法势在必行。
经过二级洗涤处理后的气体经除雾层气液分离后进入三级洗涤区。在三级洗涤区也装有填料，同样利用填料将部分异味分子溶入水中，使废气得到三次净化，同时，三级洗涤水箱内设置ORP在线检测仪表，以保证水质。经三级洗涤处理后的气体进入除雾区，使气体中的液滴分离出来进入水箱，然后满足国家排放标准的干燥洁净的气体经风机由烟囱排入大气。 （5）三级洗涤设备配有全自动化水箱清洗系统，清洗管道上配置有360度旋转喷头，可定期自动对水箱进行清洗，整个过程不需要人员进行操作。
选择环保设备：根据废气的成分来选择，不同的废气成分要选用不同的设备型号，常见的废气成分不同设备都能处理，特殊的的成分就需要特殊的设备来处理了，否则很容易处理不达标，选择正确的废气处理设备达到使用效果。有机废气分子必须具有一定波长光的特征吸收光谱，才能产生光化学反应。此外，辐照时间越长，光解效果越好。因此，利用紫外线灯对消毒柜内的细菌进行消毒，效果很好。催化燃烧设备采用不同的催化剂，具有活性高、稳定性好、机械强度高、使用寿命长、阻力小、适应性广等特点。喷淋塔对粉尘气体无要求，气体量大，脱硫除尘率高，达到或超过排放标准。